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Composants gaz intégrés IGC II très haute pureté

Composants gaz intégrés IGC® II très haute pureté

Composants intégrés pour gaz IGC® II très haute pureté

Le système IGC II Swagelok® est constitué de composants légers, faciles à monter, et de matériel standard, et peut être adapté à toute configuration d'écoulement. Les joints métalliques permettent d'empêcher l'absorption ou la perméation de gaz, en faisant du système une solution idéale de très haute pureté. L'outil complémentaire configurateur de système IGC II simplifie la sélection, la configuration et la commande des composants.

Un système IGC II typique est constitué de trois niveaux : le substrat, le collecteur et les composants de montage.

  • Le substrat fournit le passage d'écoulement au gaz du process par la ligne de gaz.
  • Le collecteur fournit le passage d'écoulement entre deux (ou plus) lignes de gaz parallèles.
  • L'ensemble substrat-collecteur accepte n'importe quel composant pour montage en surface équipé d'un joint en C de dimension 38,1 mm (1,5 po).
  • Une plaque de conversion permet le montage d'un contrôleur de débit massique et un orifice pour tube est disponible pour l'installation d'un tube vertical de diamètre 1/4 po sur un collecteur ou un substrat.

Composants pour montage en surface

  • Vannes à membrane basse pression série DP
  • Vannes de réglage fin à soufflet, série BM
  • Vannes pour dépôt de couches atomiques, vannes ALD
  • Régulateurs haut débit, série HF
  • Manomètres très haute pureté, série PGU
  • Capteurs de pression très haute pureté, série PTU

Joints et ensembles de joints

Caractéristiques techniques

  • Joint de type anneau en C pour système modulaire 38,1 mm (1,5 po)
  • Fabriqués en acier inoxydable 316L
  • Intégrité de l'étanchéité testée à l'hélium, avec un taux de fuite inférieur 1 × 10–9 cm3 std/s

Substrat/Collecteur

Caractéristiques techniques

Pression nominale à 20 °C (70 °F) 206 bars (3 000 psig)
Température nominale 120 °C (248 °F) en fonctionnement
302 °F (150 °C) étuvage
Matériaux mouillés acier inoxydable 316L VIM-VAR
Finition de surface interne 5 µpo. (0,13 µm) de Ra.

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" Sélection des produits en toute sécurité: Les catalogues doivent être lus en entier afin d'assurer une sélection adéquate des produits par le concepteur et l'utilisateur du système. Lors de la sélection des produits, l'intégralité de la conception du système doit être prise en considération pour garantir un fonctionnement fiable et sans incident. La responsabilité de l'utilisation, de la compatibilité des matériaux, du choix de capacités nominales appropriées, de l'installation, du fonctionnement et d'une maintenance corrects incombe au concepteur et à l'utilisateur du système.

Attention:
Ne pas mélanger ou intervertir les produits avec ceux d'autres fabricants."